VAMAS Surface Chemical Analysis Standard Data Transfer Format 1988 May 4
XI Ltd.
XI Spectral Data Processor
XI ASCII
Si3N4/Si etched 10 min at 2KV 6E(-8) Ar,gray color
1
90 toa
NORM
REGULAR
1
0
0
0
0
0
1
90 toa
Si3N4/Si etched 10 min at 2KV 6E(-8) Ar,gray color
2003
5
10
14
50
51
0
0
XPS
X-RAY Source
1486.6
200
250
1000
55
90
FAT
156.73
1
0
0
1000
2000
55
0
data_1
data_1
-1
Binding energy
eV
1000
-1
2
counts
d
Transmission
d
pulse counting
0.2
2
4.00E-06
0
0
0
0
2002
11
25600
0.0603073
0.288006
960
0.288006
905
0.287179
972
0.286357
936
0.285538
922
0.284724
926
0.283913
862
0.283106
919
0.282304
935
0.281505
894
0.28071
924
0.279919
940
0.279132
909
0.278348
978
0.277569
927
0.276793
1010
0.276021
959
0.275252
1025
0.274487
1047
0.273726
1055
0.272968
1019
0.272214
1101
0.271464
1039
0.270717
993
0.269973
1024
0.269233
1034
0.268497
1011
0.267764
993
0.267034
994
0.266308
984
0.265585
960
0.264866
988
0.26415
896
0.263437
1012
0.262727
989
0.262021
928
0.261318
912
0.260618
930
0.259922
973
0.259228
959
0.258538
932
0.257851
1007
0.257167
941
0.256486
934
0.255808
964
0.255134
952
0.254462
928
0.253793
948
0.253128
952
0.252465
966
0.251805
1017
0.251149
968
0.250495
1008
0.249844
995
0.249196
1005
0.248551
979
0.247909
998
0.247269
944
0.246633
1033
0.245999
1006
0.245368
1030
0.24474
1037
0.244114
1076
0.243492
1062
0.242872
1084
0.242254
1046
0.24164
1044
0.241028
1087
0.240418
1065
0.239812
1040
0.239208
1025
0.238606
1009
0.238007
1082
0.237411
1045
0.236817
1129
0.236226
1094
0.235637
1026
0.235051
1107
0.234467
1067
0.233886
1130
0.233308
1117
0.232731
1119
0.232157
1086
0.231586
1119
0.231017
1082
0.23045
1142
0.229886
1122
0.229324
1102
0.228765
1095
0.228208
1110
0.227653
1144
0.2271
1131
0.22655
1114
0.226002
1134
0.225456
1164
0.224913
1167
0.224372
1179
0.223833
1178
0.223296
1123
0.222761
1188
0.222229
1150
0.221699
1156
0.221171
1221
0.220645
1202
0.220121
1242
0.219599
1178
0.21908
1216
0.218563
1210
0.218047
1166
0.217534
1232
0.217023
1242
0.216514
1156
0.216007
1225
0.215502
1230
0.214999
1187
0.214498
1229
0.213999
1288
0.213502
1263
0.213007
1290
0.212514
1237
0.212022
1178
0.211533
1298
0.211046
1271
0.210561
1270
0.210077
1322
0.209596
1274
0.209116
1302
0.208638
1274
0.208163
1249
0.207688
1303
0.207216
1268
0.206746
1369
0.206277
1395
0.205811
1342
0.205346
1311
0.204883
1251
0.204422
1318
0.203962
1335
0.203504
1298
0.203048
1369
0.202594
1422
0.202141
1348
0.201691
1405
0.201242
1322
0.200794
1329
0.200349
1381
0.199905
1339
0.199462
1357
0.199022
1387
0.198583
1371
0.198146
1403
0.19771
1376
0.197276
1428
0.196844
1337
0.196413
1388
0.195984
1458
0.195556
1465
0.19513
1436
0.194706
1404
0.194283
1401
0.193862
1381
0.193443
1456
0.193024
1501
0.192608
1422
0.192193
1441
0.19178
1503
0.191368
1425
0.190957
1456
0.190548
1468
0.190141
1467
0.189735
1478
0.189331
1517
0.188928
1526
0.188526
1461
0.188126
1541
0.187728
1523
0.18733
1572
0.186935
1519
0.18654
1541
0.186148
1499
0.185756
1499
0.185366
1576
0.184978
1463
0.18459
1525
0.184205
1513
0.18382
1606
0.183437
1555
0.183055
1542
0.182675
1532
0.182296
1615
0.181918
1540
0.181542
1559
0.181167
1589
0.180793
1615
0.180421
1635
0.18005
1596
0.17968
1627
0.179312
1638
0.178945
1660
0.178579
1628
0.178214
1706
0.177851
1666
0.177489
1665
0.177128
1655
0.176769
1620
0.176411
1679
0.176054
1637
0.175698
1720
0.175343
1703
0.17499
1699
0.174638
1741
0.174287
1693
0.173937
1780
0.173589
1672
0.173242
1685
0.172896
1718
0.172551
1756
0.172207
1746
0.171864
1769
0.171523
1742
0.171183
1770
0.170844
1721
0.170506
1741
0.170169
1684
0.169833
1744
0.169499
1755
0.169165
1814
0.168833
1760
0.168502
1818
0.168172
1719
0.167843
1742
0.167515
1799
0.167189
1844
0.166863
1836
0.166538
1872
0.166215
1839
0.165893
1733
0.165571
1880
0.165251
1812
0.164932
1924
0.164614
1883
0.164297
1898
0.163981
1876
0.163666
1857
0.163352
1849
0.163039
1925
0.162727
1847
0.162416
1912
0.162106
1855
0.161797
1956
0.161489
1935
0.161182
2001
0.160877
1921
0.160572
1981
0.160268
2051
0.159965
1939
0.159663
1922
0.159362
2015
0.159062
1944
0.158763
1961
0.158465
1968
0.158168
1979
0.157872
1970
0.157577
1979
0.157283
2078
0.156989
2065
0.156697
1976
0.156406
2041
0.156115
2119
0.155825
2025
0.155537
1989
0.155249
2079
0.154962
2084
0.154676
2035
0.154391
2098
0.154107
2028
0.153824
2035
0.153542
2043
0.15326
2104
0.15298
2137
0.1527
2081
0.152421
2171
0.152143
2075
0.151866
2067
0.15159
2221
0.151315
2030
0.15104
2158
0.150767
2082
0.150494
2102
0.150222
2180
0.149951
2181
0.149681
2171
0.149411
2107
0.149143
2189
0.148875
2183
0.148608
2201
0.148342
2228
0.148077
2311
0.147812
2216
0.147548
2215
0.147285
2254
0.147023
2174
0.146762
2296
0.146502
2361
0.146242
2291
0.145983
2209
0.145725
2370
0.145468
2278
0.145211
2319
0.144955
2344
0.1447
2316
0.144446
2336
0.144193
2272
0.14394
2256
0.143688
2332
0.143437
2344
0.143186
2312
0.142937
2393
0.142688
2280
0.142439
2390
0.142192
2341
0.141945
2401
0.141699
2341
0.141454
2394
0.141209
2388
0.140965
2340
0.140722
2403
0.14048
2466
0.140238
2465
0.139997
2420
0.139757
2475
0.139518
2439
0.139279
2397
0.139041
2368
0.138803
2487
0.138566
2409
0.13833
2484
0.138095
2545
0.13786
2476
0.137626
2493
0.137393
2476
0.13716
2557
0.136928
2462
0.136697
2496
0.136466
2454
0.136236
2568
0.136007
2577
0.135779
2531
0.135551
2500
0.135323
2645
0.135097
2639
0.134871
2544
0.134645
2576
0.13442
2619
0.134196
2606
0.133973
2544
0.13375
2639
0.133528
2676
0.133306
2529
0.133085
2681
0.132865
2662
0.132645
2676
0.132426
2691
0.132208
2707
0.13199
2690
0.131773
2710
0.131556
2680
0.13134
2660
0.131125
2735
0.13091
2701
0.130696
2682
0.130483
2754
0.13027
2762
0.130057
2738
0.129846
2668
0.129634
2803
0.129424
2736
0.129214
2858
0.129004
2834
0.128795
2798
0.128587
2730
0.12838
2807
0.128172
2845
0.127966
2882
0.12776
2944
0.127555
2790
0.12735
2870
0.127145
2828
0.126942
2991
0.126739
2845
0.126536
2886
0.126334
2860
0.126132
2845
0.125931
2827
0.125731
2899
0.125531
2857
0.125332
2959
0.125133
2957
0.124935
2858
0.124737
2870
0.12454
2927
0.124344
2979
0.124147
2964
0.123952
2963
0.123757
2976
0.123562
3115
0.123368
3021
0.123175
3054
0.122982
3040
0.12279
3096
0.122598
3002
0.122406
3104
0.122215
3010
0.122025
3065
0.121835
3133
0.121646
3051
0.121457
3090
0.121269
2989
0.121081
3152
0.120893
3074
0.120707
3094
0.12052
3203
0.120334
3206
0.120149
3216
0.119964
3137
0.11978
3145
0.119596
3224
0.119412
3261
0.119229
3086
0.119047
3225
0.118865
3127
0.118683
3102
0.118502
3178
0.118322
3188
0.118142
3122
0.117962
3339
0.117783
3298
0.117604
3306
0.117426
3301
0.117248
3231
0.117071
3230
0.116894
3374
0.116718
3459
0.116542
3366
0.116366
3437
0.116191
3453
0.116017
3500
0.115843
3437
0.115669
3489
0.115496
3449
0.115323
3388
0.115151
3394
0.114979
3435
0.114807
3405
0.114636
3400
0.114466
3477
0.114295
3480
0.114126
3381
0.113956
3398
0.113788
3417
0.113619
3361
0.113451
3451
0.113284
3507
0.113116
3443
0.11295
3682
0.112783
3950
0.112617
5015
0.112452
5419
0.112287
4293
0.112122
3579
0.111958
3536
0.111794
3582
0.111631
3552
0.111468
3559
0.111305
3611
0.111143
3543
0.110981
3528
0.11082
3674
0.110659
3606
0.110498
3794
0.110338
3703
0.110178
3709
0.110019
3713
0.10986
3550
0.109701
3752
0.109543
3751
0.109385
3750
0.109228
3649
0.109071
3823
0.108914
3688
0.108758
3860
0.108602
3830
0.108447
3925
0.108292
3882
0.108137
3856
0.107982
3900
0.107829
3925
0.107675
3854
0.107522
4016
0.107369
3999
0.107216
4030
0.107064
3968
0.106912
3977
0.106761
4023
0.10661
4102
0.106459
3910
0.106309
4184
0.106159
4092
0.10601
4119
0.105861
4154
0.105712
4151
0.105563
4255
0.105415
4307
0.105267
4346
0.10512
4275
0.104973
4240
0.104826
4274
0.10468
4415
0.104534
4344
0.104388
4292
0.104243
4410
0.104098
4483
0.103953
4417
0.103809
4322
0.103665
4500
0.103522
4424
0.103378
4620
0.103235
4521
0.103093
4571
0.102951
4594
0.102809
4573
0.102667
4662
0.102526
4625
0.102385
4766
0.102245
4668
0.102104
4690
0.101964
4783
0.101825
4699
0.101686
4848
0.101547
4861
0.101408
4855
0.10127
4909
0.101132
4847
0.100994
4870
0.100857
4885
0.10072
4905
0.100583
4954
0.100447
4985
0.100311
5102
0.100175
5081
0.10004
5081
0.0999048
5114
0.09977
5134
0.0996356
5291
0.0995014
5223
0.0993676
5080
0.099234
5191
0.0991008
5311
0.0989679
5206
0.0988353
5316
0.098703
5232
0.098571
5233
0.0984393
5305
0.0983079
5197
0.0981767
5229
0.0980459
5244
0.0979154
5273
0.0977852
5222
0.0976553
5194
0.0975257
5268
0.0973964
5262
0.0972674
5262
0.0971386
5386
0.0970102
5523
0.096882
5620
0.0967542
5595
0.0966266
5857
0.0964993
6027
0.0963723
6186
0.0962456
6320
0.0961192
6296
0.095993
6274
0.0958672
5844
0.0957416
5894
0.0956163
5593
0.0954913
5243
0.0953666
5032
0.0952421
4930
0.095118
4655
0.0949941
4414
0.0948704
4269
0.0947471
4071
0.094624
3957
0.0945012
3931
0.0943787
3871
0.0942564
3903
0.0941345
3794
0.0940128
3651
0.0938913
3654
0.0937701
4553
0.0936492
9813
0.0935286
25600
0.0934082
23046
0.0932881
7635
0.0931683
3852
0.0930487
3256
0.0929294
3110
0.0928103
2899
0.0926915
2815
0.092573
2782
0.0924547
2716
0.0923367
2867
0.092219
2812
0.0921015
2821
0.0919842
2879
0.0918672
2819
0.0917505
2859
0.091634
2900
0.0915178
2982
0.0914018
2957
0.0912861
2844
0.0911707
3008
0.0910554
2905
0.0909405
2852
0.0908257
2797
0.0907113
2890
0.090597
2983
0.0904831
2927
0.0903693
2953
0.0902558
2894
0.0901426
2899
0.0900296
2931
0.0899168
2968
0.0898043
2884
0.089692
2951
0.08958
2943
0.0894682
2927
0.0893567
2924
0.0892453
2989
0.0891343
2933
0.0890234
2948
0.0889128
2996
0.0888024
2923
0.0886923
3081
0.0885824
2997
0.0884727
3069
0.0883633
2951
0.0882541
3079
0.0881451
2990
0.0880364
2988
0.0879279
3065
0.0878196
3186
0.0877115
3086
0.0876037
3128
0.0874961
3109
0.0873887
3193
0.0872815
3212
0.0871746
3115
0.0870679
3131
0.0869614
3176
0.0868552
3217
0.0867492
3091
0.0866434
3101
0.0865378
3143
0.0864324
3136
0.0863272
3019
0.0862223
3112
0.0861176
3185
0.0860131
3140
0.0859088
3087
0.0858048
3082
0.0857009
3084
0.0855973
3122
0.0854939
3027
0.0853907
2997
0.0852877
3135
0.0851849
3236
0.0850824
3361
0.08498
3634
0.0848779
4009
0.0847759
4183
0.0846742
3639
0.0845727
3377
0.0844714
3314
0.0843703
3123
0.0842694
3225
0.0841688
3067
0.0840683
3156
0.083968
3123
0.0838679
3250
0.0837681
3181
0.0836684
3065
0.083569
3153
0.0834697
3072
0.0833707
3186
0.0832718
3138
0.0831732
3268
0.0830747
3210
0.0829765
3172
0.0828784
3150
0.0827806
3254
0.0826829
3194
0.0825855
3173
0.0824882
3220
0.0823912
3127
0.0822943
3143
0.0821976
3202
0.0821012
3094
0.0820049
3206
0.0819088
3220
0.0818129
3182
0.0817172
3337
0.0816217
3450
0.0815264
3497
0.0814312
3818
0.0813363
3664
0.0812415
3319
0.081147
3290
0.0810526
3253
0.0809584
3143
0.0808644
3297
0.0807706
3210
0.080677
3355
0.0805835
3250
0.0804903
3294
0.0803972
3205
0.0803043
3215
0.0802116
3383
0.0801191
3350
0.0800268
3483
0.0799346
3423
0.0798427
3460
0.0797509
3388
0.0796593
3557
0.0795678
3429
0.0794766
3403
0.0793855
3427
0.0792946
3412
0.0792039
3405
0.0791134
3349
0.079023
3192
0.0789329
3300
0.0788429
3310
0.078753
3292
0.0786634
3191
0.0785739
3291
0.0784846
3231
0.0783955
3210
0.0783065
3140
0.0782177
3202
0.0781291
3300
0.0780407
3220
0.0779524
3135
0.0778643
3178
0.0777764
3575
0.0776886
4431
0.0776011
4521
0.0775136
5393
0.0774264
4672
0.0773393
3460
0.0772524
3179
0.0771657
3206
0.0770791
3125
0.0769927
3121
0.0769064
3206
0.0768203
3190
0.0767344
3080
0.0766487
3189
0.0765631
3115
0.0764777
3088
0.0763924
3187
0.0763073
3184
0.0762224
3173
0.0761376
3242
0.076053
3163
0.0759685
3152
0.0758842
3214
0.0758001
3221
0.0757162
3223
0.0756323
3210
0.0755487
3117
0.0754652
3206
0.0753819
3330
0.0752987
3306
0.0752157
3273
0.0751328
3220
0.0750501
3137
0.0749675
3226
0.0748852
3226
0.0748029
3298
0.0747208
3195
0.0746389
3286
0.0745571
3298
0.0744755
3312
0.074394
3281
0.0743127
3283
0.0742315
3382
0.0741505
3347
0.0740697
3500
0.073989
3457
0.0739084
3334
0.073828
3260
0.0737477
3373
0.0736676
3441
0.0735877
3360
0.0735078
3359
0.0734282
3373
0.0733487
3390
0.0732693
3277
0.0731901
3272
0.073111
3230
0.0730321
3448
0.0729533
3455
0.0728746
3485
0.0727961
3482
0.0727178
3373
0.0726396
3683
0.0725615
3573
0.0724836
3537
0.0724059
3671
0.0723282
3759
0.0722507
3810
0.0721734
3840
0.0720962
4027
0.0720191
4062
0.0719422
3989
0.0718654
3840
0.0717888
3951
0.0717123
3688
0.0716359
3686
0.0715597
3512
0.0714836
3469
0.0714077
3408
0.0713319
3148
0.0712562
3139
0.0711807
3076
0.0711053
2918
0.07103
2746
0.0709549
2766
0.0708799
2687
0.0708051
2658
0.0707304
2719
0.0706558
2792
0.0705814
3318
0.0705071
4597
0.0704329
8683
0.0703588
13608
0.0702849
12190
0.0702112
7129
0.0701375
4430
0.070064
2835
0.0699906
2464
0.0699174
2219
0.0698443
2096
0.0697713
2014
0.0696984
1910
0.0696257
1890
0.0695531
1834
0.0694807
1931
0.0694083
1863
0.0693361
1879
0.0692641
1790
0.0691921
1732
0.0691203
1758
0.0690486
1869
0.068977
1849
0.0689056
1854
0.0688343
1892
0.0687631
1925
0.0686921
1863
0.0686211
1924
0.0685503
2063
0.0684796
2139
0.0684091
2113
0.0683386
2209
0.0682683
2341
0.0681982
2347
0.0681281
2288
0.0680582
2148
0.0679883
2053
0.0679187
1953
0.0678491
1750
0.0677796
1771
0.0677103
1587
0.0676411
1469
0.067572
1362
0.0675031
1208
0.0674342
1158
0.0673655
1042
0.0672969
986
0.0672284
921
0.0671601
946
0.0670918
840
0.0670237
857
0.0669557
877
0.0668878
1437
0.06682
4996
0.0667524
11995
0.0666849
11401
0.0666174
4764
0.0665501
1910
0.066483
748
0.0664159
424
0.0663489
378
0.0662821
329
0.0662154
312
0.0661488
293
0.0660823
271
0.0660159
283
0.0659496
289
0.0658835
267
0.0658175
268
0.0657515
318
0.0656857
305
0.06562
290
0.0655545
303
0.065489
295
0.0654236
302
0.0653584
307
0.0652932
286
0.0652282
280
0.0651633
311
0.0650985
300
0.0650338
300
0.0649692
299
0.0649048
321
0.0648404
317
0.0647761
303
0.064712
334
0.064648
322
0.064584
297
0.0645202
313
0.0644565
322
0.0643929
350
0.0643294
313
0.064266
315
0.0642027
314
0.0641396
340
0.0640765
334
0.0640135
325
0.0639507
364
0.0638879
340
0.0638253
313
0.0637628
328
0.0637003
318
0.063638
315
0.0635758
318
0.0635136
371
0.0634516
342
0.0633897
336
0.0633279
368
0.0632662
316
0.0632046
391
0.0631431
380
0.0630817
358
0.0630204
408
0.0629592
366
0.0628981
373
0.0628371
389
0.0627762
382
0.0627155
371
0.0626548
348
0.0625942
330
0.0625337
383
0.0624733
364
0.062413
343
0.0623528
344
0.0622928
407
0.0622328
364
0.0621729
384
0.0621131
354
0.0620534
350
0.0619938
353
0.0619343
377
0.0618749
380
0.0618156
436
0.0617564
540
0.0616973
596
0.0616383
628
0.0615794
645
0.0615206
708
0.0614619
664
0.0614032
424
0.0613447
266
0.0612863
173
0.0612279
190
0.0611697
298
0.0611115
514
0.0610535
552
0.0609955
555
0.0609377
642
0.0608799
545
0.0608222
373
0.0607647
304
0.0607072
262
0.0606498
211
0.0605925
176
0.0605353
144
0.0604781
49
0.0604211
19
0.0603642
11
0.0603073
end of experiment
